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洁净棚：采用工业铝材（或不锈钢方通、铁方通喷塑）作为框架，风机滤网机组（FFU）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），其内部净化级别可达到100-10000级。适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。
特点
1、组装式结构设计，安装方便，交货周期短。
2、移动方便（可选用万向轮）。
3、模块化结构，容易提高净化级别，扩展性强，且重复利用价值高。
4、相对超净工作台内部有效空间大；相对传统无尘室，具有成本低、施工快、且对楼层高度要求低的优势。
规格及型号
洁净度 洁净区域尺寸（feet） 所用FFU数目 风量 （立方米/小时）
10/100级 4×4×7 2 2300
4×8×7 4 4600
6×8×7 6 6900
6×12×7 9 10350
6×16×7 12 13800
10/100级 6×20×7 15 17250
8×8×7 8 9200
8×10×7 10 11500
8×12×7 12 13800
8×16×7 16 18400
8×20×7 20 23000
10×12×7 15 17250
12×12×7 18 20700
1000级 6×12×7 2 2300
6×16×7 2 2300
6×20×7 3 3450
8×8×7 2 2300
8×10×7 2 2300
8×12×7 4 4600
8×16×7 4 4600
8×20×7 4 4600
10×12×7 5 5750
12×20×7 6 6900
10000级 6×12×7 1 1150
6×16×7 1 1150
6×20×7 2 2300
8×8×7 1 1150
8×10×7 2 2300
8×12×7 2 2300
8×16×7 2 2300
8×20×7 2 2300
10×12×7 3 3450
12×20×7 4 4600
洁净棚